MaskTrack Smart BD

MaskTrack Smart BD烘显设备满足了下一代光刻技术路线图中对光罩烘烤和显影处理的所有要求。这款全新的烘烤与显影旗舰产品，是广受认可且极为成功的MaskTrack Pro BD设备的升级版。该设备通过采用前沿的工艺方法来提升强化光罩性能，充分满足当代光刻技术的各项需求。MaskTrack Smart BD覆盖了当今光罩生产中烘烤与显影环节的全方位需求，着重应对先进光刻工艺中光罩完整性日益重要的现实。其具备高度可扩展性，支持与第三方产品进行设备集群整合，可在完全受控的高度洁净环境中，为光罩存储、传输及工艺处理提供综合得解决方案。模块化平台设计确保了最大程度的灵活性和可定制性。凭借世界一流的烘烤与显影效果，MaskTrack系列已确立其作为业界首选平台的地位。