HMx系列

HMxSquare

HMxSquare 通过它的显影、蚀刻和清洗功能为光掩模应用，以及光电、OELD 和特殊的半导体后端 (MEMS) 产业提供高品质衬底加工。

手动 HMxSquare 可用于小批量加工或者特殊衬底的试生产。它将原 HMx 系列的稳定性和可靠性与当前对电子控制功能的需求、新清洗技术、环境和安全要求融于一身。