JETx
適用於大批量生產的噴墨打印解決方案
用於大批量生產的 JETx 噴墨打印機是 SUSS MicroTec 最先進的功能材料打印解決方案，專為半導體和相關市場設計，例如電力電子、傳感器、MEMS、顯示器和生物醫學。
JETx 與材料處理單元（例如 ACS200 Gen3 TE）和熱板堆棧相結合，提供了一個完整的生產解決方案，旨在降低擁有成本 對最大 300 毫米的圓形晶圓和最大 24” x 30” (610 x 765 mm) 的面板具有高吞吐量。
強調
- 綠色工藝
- 完全集成的生產解決方案
- 高可靠性、高生產率和低擁有成本
- 針對您的流程優化的可定製配置
- 兼容溶劑型、水性、熱熔和紫外線固化油墨
- 易於操作和維護
綠色工藝
作為一種增材製造技術，噴墨打印與傳統的減材製造技術相比是一種綠色工藝。 只在需要的地方打印準確數量的材料，可以顯著減少材料浪費，並消除多餘材料的去除處理步驟。
完全集成的生產解決方案
JETx 和 ACS 材料處理單元 提供完全集成的生產解決方案，用於直接對光刻膠、相變抗蝕劑、聚酰亞胺等電介質進行圖案化 , SU-8 和阻焊層，還有導電油墨和客戶特定的材料。
優化生產力
噴墨打印的優勢之一是提高生產率意味著需要更多的打印頭，因此 JETx 可以配置多個打印頭和多個墨水系統以優化生產率。
PiXDRO噴墨技術
採用 PiXDRO 噴墨技術的 JETx 以經過生產驗證的核心噴墨組件和多年的噴墨專業知識為基礎，為半導體生產提供一流的解決方案。
預處理和後處理選項
在 ACS 和 JETx 中，集成了多種預處理和後處理選項，例如帶有條形碼掃描儀的晶圓預對準器、用於基準對準的高分辨率相機、在線 UV（紫外線）和 NIR（近紅外線）固定/ 固化、加熱板和冷卻板堆棧。
主要功能和選項
- 全自動生產解決方案
- 綠色工藝
- 幾乎零材料浪費
- 最小的佔地面積
- 通過數字處理實現產品個性化
- 易碎基板的非接觸式沉積
- 層厚度的千分尺控制
- 集成預處理和後處理選項
- 在重新填充期間繼續運行
- 自動過程檢查