MCS8手動塗裝系統
適用於實驗室、初創企業和小型生產的 Labcluster
SUSS 的手動塗層系統 (MSC8) 以獨特的集群配置提供最新一代的塗層和水性顯影技術。 它的設計和組裝是為了在最小的潔淨室佔地面積上提供最多種類的功能。 因此，實驗室、初創企業和小規模生產可以通過 MCS8 訪問在 SUSS 大批量生產工具中證明了自己的技術。
強調
- 最小的潔淨室佔地面積
- 低至模塊級別的廣泛選項
- 具有 500 多種可能性的靈活配置
- 一供一廢管理系統
- SUSS HVM 工具中的成熟技術
MCS8兩個獨立模組的框架可定制。客戶根據自己的需求，從SUSS各種手動/半自動的塗佈機與水基顯影機中選擇這兩個模組。這些選項包括：SUSS LabSpin8、SUSS Hot Plate、SUSS Vapor Primer或主動冷卻的SUSS Cool Plate。這兩個獨立的模組可以一前一後地放置，以達到最佳的潔淨室空間的利用。同時，為了實現最佳的人體工程學操作，提升了後部模組的高度。
所有模組都可以配備可選功能，如：Labspin的自動噴液系統或熱板的接近式pin。MCS8 LabCluster可提供多達6個可定制框架的陣列，每個框架包括2個模組。這樣總計可以組合多達12個模組，從而可提供一個完整的製程解決方案。通過最多兩種設備（如RCD8或AS8），MCS8為集群添加了先進的塗佈和顯影技術，為MEMS、III-V、電子束刻、暫時接合、納米壓印、微流體和微光學提供了廣泛的應用。客戶可以根據SUSS的經驗從豐富的配置方案中選配MCS8平臺，以實現效益最大化。
可用的選項包括：
- 塗佈機分配系統
- 熱板的接近銷和清洗選項
- 開發人員的溫度控制
- 範圍廣泛的卡盤
- 一個單一的廢物管理系統
設備與選項
RCD8
半自動塗佈機和顯影劑平台提供頂級應用質量以及最大的可靠性和重複精度。
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AS8
用於高地形的噴塗工具最多可配備兩個獨立的噴塗系統。
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HP8
用於均勻溫度分佈的手動熱板以及具有高重複精度的加熱斜坡確保恆定和穩定的工藝結果。
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LABSPIN8
LabSpin 系統允許廣泛的應用，同時提供均勻、精確和可重複的旋塗結果。
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VP8
蒸汽底漆 準備晶圓表面以改善表面狀況以獲得最佳的抗蝕劑附著力。
CP8
主動冷卻、基於配方的冷卻板提供了一個封閉的冷卻室，可防止晶圓受到污染。