MA/BA Gen4 系列掩模和鍵合對準器
適用於工業化研究及生產的高功能光罩及接合對準器
第 4 代專業級 MA/BA 系列係為 SUSSs 旗下半自動式光罩對準曝光機之多方位裝置平臺，並提供包羅萬象的運用潛力。此對準器適用於 150 及 200 mm 以下的基板尺寸。由於工具及選項與可設定的工藝參數為數眾多，因此可在研發與生產過程中極致靈活地變化運用。第 4 代專業級 MA/BA 的設計已臻成熟且擁有最現代的技術，實屬在開發未來科技時最理想的利器。是以在微電機系統、先進封裝、3D 整合製程及複合半導體等領域不遑多讓地立下新的標竿。
強調
- 卓越的製程結果
- 高度的操作便利性
- 低成本
- 改善人機界面
- 佔用空間小
- 面對面顯微鏡
因精確度而達到最佳的製程結果
第 4 代 MA/BA 系列的自動化程度高，能達到傑出的製程結果。常量模式、自動控制曝光時間及自動對準等功能有助於使製程參數變得理想。此外，額外裝備優質光學系統（MO Exposure Optics）時，可使第 4 代 MA/BA 系列得到理想的曝光條件並從而取得最佳的結果。精心琢磨的機械裝置確保高度的對準精度。經由特殊的頂部及底部對準顯微鏡單位（TSA 及 BSA）構造，頂部對準顯微鏡（TSA）無需大幅度地移動，從而不會產生干擾性的震動。
操作舒適度高
諸如符合人機學的製程配方編輯器、資料記錄或設置可能選項、使用權等功能，再再便於操作人員進行作業，同時可失誤來源降至最少。此外，第 4 代 MA/BA 平臺運用優質數位顯微鏡及相機，不僅改良畫質且擴大螢幕上的視野（field of view），因而能顯著地簡化校準程序。
環境及作業保護
您可為第 4 代 MA/BA 系列選配符合能源效益的 LED 光源，除了降低運作及保養費用外，亦能提升對作業及環境的保護。不再須支出昂貴的特別廢棄物清潔費用處理汞氣燈。此機械提供各式安全預防措施，例如：紫外線照射防護、安全保險設備或防夾設施，該措施符合嚴格的安全協議。
符合成本效益
第 4 代 MA/BA 系列的持有成本誘人，佔用空間雖小卻同時具有多種製程樣態，係為抉擇的關鍵。例如選擇採用符合能源效益的 LED 光源時，即可省下運作及保養的支出。第 4 代 MA/BA 平臺的結構十分地經久耐用，可輕易地近用操作元件，且可換下零件以及使用 LED 光源及 SUSSs MO Exposure Optics 優質光學系統，故能降低保養的成本。此外，經由遠端控制存取機械即可以成本低廉的方式偵測並解決故障。
可選配諸如將晶圓對準晶圓、熔融接合及壓印光刻技術等附加功能。
