RCD8 塗佈機和顯影劑

光阻塗佈與顯影平台
RCD8塗佈與顯影平台可依客戶需求進行客製配置,例如從基本的手動旋轉塗佈機到半自動的GYRSET®式塗佈機,以及浸置與噴霧顯影工具,適用於日常研發工作至小規模生產等用途。

強調

  • 最大的應用靈活性
  • 可定製配置
  • 安全且符合人體工程學的使用
  • 高可用性和流程穩定性
RCD8 塗佈機和顯影劑

光阻塗佈與顯影平台
由於具備廣泛的配置功能,RCD8幾乎可提供不同基板材料與形狀的塗佈與顯影。此平台可裝配各種經實驗過的下料系統與幫浦配置,以處理黏度小於1 cps至55,000 cps的光阻。

若日後需改裝,此多功能機台可使用各種選項直接於現場升級,完全滿足您未來的使用操作需求。

詳細情況 : 細節

  • 旋塗
  • 水坑發育

選項

  • GYRSET®

技術發表