AD12 開發人員

卓越的靈活性

AD12通過使用優化的卡盤能夠處理各種不同的基板，展示了其多用性。甚至可以安全地加工易脆襯底（例如InP、GaAs）。特殊的夾具、大量易於調整的製程參數，使AD12適用于涉及水基介質的大量製程應用。借助參數（如步驟時間、旋轉速度、加速度和減速度、噴液手臂的位置、旋轉運動）程式設計能力，該系統允許優化製程流程，從而獲得可重複、穩定的製程結果。AD12配備了SUSS先進的噴液技術，能夠有效地支援顯影和清洗製程。

先進的噴液技術

AD12為不同製程需求提供了各種各樣的噴液技術。可運行的多種製程：從簡單的浸置式或噴霧顯影，到所需的剝離製程——除了用於浸泡和最終沖洗的浸置式噴液以外，還需要使用高壓來剝離光阻劑和金屬。可以在AD12的噴液手臂上，配置上述所有的噴液技術。

基於智慧溶劑的介質系統

AD12是為處理水基型介質的特殊需求而定制的。與製程化學品接觸的所有零件，均由不易受影響的材料製成。排水管可以連接到廠務排水管或廢物罐。

介質安全存儲在配有排氣連接的介質存儲裝置中，並有洩漏檢測器確保安全。流量控制系統和壓力調節器負責管理介質。可選的介質溫控，可確保最佳製程結果，且可安裝介質再循環系統，以減少介質的總消耗。

簡單、安全的操作

AD12易於操作、維護。只需按下一個按鈕，即可調用製程參數和介質資料。可程式設計的製程功能表，加快了工作流程、改善了重複性。所有零件都易於獲取，便於操作和維護設備。此外，該設備的設計特別關注操作者的安全。帶有一扇自動安全玻璃門的密封製程室，確保了封閉的製程環境，並便於製程監控。聯鎖感測器保證了設備的安全操作。