AD12显影机
12英寸喷淋显影系统
AD12系统可以满足所有最新的喷淋显影技术的需求，最大可用于直径12英寸的圆片和9英寸×9英寸的方形基片和掩模。
也可以选装晶圆清洗模块。
亮点
- 专为水基工艺而设计
- 凭借多样的喷液技术，在工艺通用性方面表现出色
- 高安全性标准
卓越的灵活性
AD12通过使用优化的卡盘能够处理许多不同种类的基材，从而展示了其多功能性。即使是脆弱的基材（如InP、GaAs）也能被安全地处理。特殊的工具和广泛的易于调整的工艺参数使AD12适用于许多涉及水介质的工艺应用。由于能够对参数进行编程，如步进时间、旋转速度、加速和减速、点胶臂位置和旋转运动，该系统可以优化工艺流程，从而获得可重复的、稳定的工艺结果。AD12配备了SUSS公司先进的点胶技术，有效地支持开发和清洗。
复杂的喷点技术
AD12为不同的工艺需求提供了广泛的喷点技术。可以运行多种工艺：从简单的水坑或喷雾显影，到需要浸泡和最后冲洗的水坑点胶，再到需要高压将抗蚀剂和金属升起的升华。上述所有的喷点技术都可以在AD12的喷点臂上配置。
智能溶剂型介质系统
AD12是为处理水基介质的特殊需求而定制的。所有与工艺化学品接触的部件都由不易受影响的材料制成。排水口可以连接到室内排水口或废物罐。
介质被安全地储存在配备有排气接口的介质库中，并由渗漏检测器加以保护。流量控制系统和压力调节器管理介质。可以选择控制介质温度，以确保最佳工艺效果。可以安装介质的再循环系统，以减少整个介质的消耗。
操作简单、安全
AD12易于操作和维护。只需按下一个按钮，就可以调用工艺参数和介质数据。可编程的配方加速了工作流程，促进了重复性。所有部件都很容易接触到，以方便操作和维护工具。此外，该工具的设计主要侧重于操作员的安全。带有自动安全玻璃门的密封工艺室确保了封闭的工艺环境，便于对工艺进行监控。联锁传感器保证了工具的安全运行。