MCS8 手动喷涂系统
用于实验室、初创企业和小批量生产的实验室集群
苏斯微技术公司的手动涂层系统（MSC8）以独特的集群配置提供了最新一代的涂层和水基开发技术。它的设计和组装是为了在最小的洁净室面积上提供最大的各种功能。因此，在SUSS MicroTec公司大批量生产工具中已经证明了自己的技术可以通过MCS8为实验室、初创企业和小规模生产提供服务。
亮点
- 最小的洁净室占地面积
- 范围广泛的选项，直至模块级别
- 灵活的配置，超过500种可能性
- 一个供应和一个废物管理制度
- 在SUSS HVM工具中经过验证的技术
MCS8由两个独立模块的可定制框架组成。客户根据他们的个人要求，从SUSS MicroTec公司的各种手动和半自动涂布机和水基显影工具中选择这两个模块。这些选择包括SUSS LabSpin8、SUSS Hot Plate、SUSS Vapor Primer或主动冷却的SUSS Cool Plate。这两个单独的模块一前一后放置。这样可以最佳地利用洁净室空间。为了使操作者获得最佳的人体工程学效果，后部模块的高度被提高。
所有模块都可以配备可选的功能，如LabSpins的自动分配系统或热板的接近针。MCS8 LabCluster最多可由六个这种可定制的框架组成，每个框架包括两个模块。这使得总共有多达12个模块的组合，从而提供了一个完整的工艺解决方案。通过最多两个工具（如RCD8或AS8）将先进的镀膜和显影技术添加到集群中，MCS8可以在MEMS、III-V、电子束光刻、临时键合、纳米压印、微流体和微光学等方面有广泛的应用。客户可以根据苏斯微技术公司的经验为MCS8平台配备各种配置，以获得最大利益。
可用的选项包括。
- 用于涂布机的分装系统
- 用于热板的接近针和清洗选项
- 用于研发人员的温度控制
- 范围广泛的卡盘
- 一个单一的废物管理系统
工具和选项
RCD8
这款的半自动涂布机和显影机平台以最大的可靠性和重复精度提供顶级应用质量。
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AS8
用于高地形的**喷镀工具可配备最多两个独立的喷雾分配系统。
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HP8
用于均匀温度分布的手动热板以及具有高重复精度的加热斜面确保了恒定和稳定的工艺结果。
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LABSPIN8
LabSpin系统可以实现**广泛的应用，同时提供统一、精确和可重复的旋涂结果。
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VP8
蒸气底漆对晶圆表面进行准备，以改善表面条件，达到最佳的抗蚀剂附着力。
CP8
主动冷却的、基于配方的冷却板提供了一个封闭的冷却室，防止对晶圆的污染。