AS8

适用于崎岖表面的手动喷雾涂胶机
AS8涂胶机可以满足实验室和试产环境下常用工艺的需要,对于起伏台阶几微米到600微米以上的三维微结构加工,都是理想的工具。

SUSS AS8涂胶机也可用于生产环境。

亮点

  • 跨越大起伏形貌的图案化赋能技术
  • 顶部边缘覆盖的保形涂胶,且能避免沟槽中堆胶。
  • 专利的喷雾设计,可实现工艺稳定性与重复性的优化
  • 基板尺寸最大直径为200 mm,方形基板最大边长为 6"
  • 最多可有2个独立的喷雾喷胶系统,以避免交叉污染
  • 带有MMC控制器软件的触摸屏
  • 全部工艺参数可在工艺菜单中编程
AS8

详细情况 : 涂胶

  • 喷涂