AS8
适用于崎岖表面的手动喷雾涂胶机
AS8涂胶机可以满足实验室和试产环境下常用工艺的需要,对于起伏台阶几微米到600微米以上的三维微结构加工,都是理想的工具。
SUSS AS8涂胶机也可用于生产环境。
亮点
- 跨越大起伏形貌的图案化赋能技术
- 顶部边缘覆盖的保形涂胶,且能避免沟槽中堆胶。
- 专利的喷雾设计,可实现工艺稳定性与重复性的优化
- 基板尺寸最大直径为200 mm,方形基板最大边长为 6"
- 最多可有2个独立的喷雾喷胶系统,以避免交叉污染
- 带有MMC控制器软件的触摸屏
- 全部工艺参数可在工艺菜单中编程