MJB4面罩对准器
小尺寸基片的最新研发解决方案
SUSS的MJB4是广受欢迎的手动光刻机MJB3的全新换代产品。操作方便，占地面积小，成为实验室研究和小批量生产的理想设备。作为经济型光刻解决方案，MJB4针对直径达100mm的小尺寸基片工艺确立了一套工业标准。MJB4配有高可靠和高精度的对准系统，同时具备亚微米量级的高分辨率图形转移能力，这些特点都使得MJB4的性能明显优于同类设备。
亮点
- 高分辨率掩模对准光刻，特征尺寸优于0.5微米
- 装配SUSS的单视场显微镜或分视场显微镜，实现快速准确对准
- 针对厚胶工艺进行优化的高分辨光学系统
- 可选配通用光学器件，在不同波长间进行快速切换
- 可通过装配升级套件，实现紫外纳米压印光刻
MJB4系统可广泛用于MEMS和光电子，例如LED生产。它经过特殊设计，方便处理各种非标准基片、例如混合、高频元件和易碎的III-V族材料，包括砷化镓和磷化铟。而且该设备可通过选配升级套件，实现紫外纳米压印光刻。
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