SB8 Gen2 晶圆贴片机

晶圆键合工艺的万能设备

SUSS 公司的 SB8 提供一种适合各种键合工艺的半自动平台。SB8 可以处理200毫米以下各种形状和类型的衬底和晶圆。因此,它是一个适合多种用途和工艺环境的灵活工具。应用领域包括,MEMS、LED 中的封装及结构塑造、先进封装、2.5D和3D集成。

SB8 从研究开发、到批量生产,再到最后的大规模生产都简单明了。

亮点

  • 灵活
  • 工艺稳定
  • 产量高
SB8 Gen2 晶圆贴片机

在键合室温度、键合力和空气压力的配置上有广阔的自由度,这大大增加了应用的选择范围。此外,还能调整工艺以适应不断变化的工艺条件。

与 SUSS 键合对准器套装组合后,SB8 还能进行高精度预键合对准

详细情况 : 详情

  • 安全装载晶圆
  • 工艺参数
  • 防止用户直接接触压力室
  • 防止颗粒进入,打造无污染的工艺环境

详细情况 : 详细信息

  • 胶黏键合
  • 阳极键合
  • 共晶键合
  • 热键合
  • 玻璃浆料键合

这种使用聚合物和胶黏剂的键合方法可用于许多种材料,如环氧材料、干性薄膜、BCB、聚酰亚胺及可紫外固化的化合物。

可供使用:

自动贴片机
半自动贴片机