旋涂机、喷涂机、显影机

以全面的涂胶与显影解决方案满足您的需求

SUSS的旋涂机和喷涂机，已成为卓越性能、易用、灵活性和增强涂胶技术的代名词。凭借小型化、用户友好的光刻胶涂胶设备的完整产品线，从经济的小批量实验室设备到晶圆尺寸高达300 mm的高端生产系统，SUSS的涂胶机和显影机可作业厚度从1 µm以下到500 µm以上的光刻胶涂层。