JETx
用于大批量生产的喷墨打印解决方案
用于大批量生产的JETx喷墨打印机是SUSS MicroTec公司最先进的打印功能材料的解决方案，专门为半导体和邻近市场设计，如电力电子、传感器、MEMS、显示器和生物医学。
JETx与材料处理装置（如ACS200 Gen3 TE）和热板堆相结合，提供了一个完整的生产解决方案，旨在以低拥有成本实现300毫米以下圆形晶圆和24英寸×30英寸（610×765毫米）面板的高产量。
亮点
- 绿色进程
- 完全集成的生产解决方案
- 可靠性高，生产率高，拥有成本低
- 可定制的配置为您的工艺进行了优化
- 与溶剂型、水基型、热熔型和紫外光固化型油墨兼容
- 易于操作和维护
绿色工艺
作为一种添加剂技术，与传统的减法制造技术相比，喷墨打印是一种绿色工艺。只在需要的地方打印准确数量的材料，大大减少了浪费的材料，并消除了多余材料的去除-加工步骤。
完全集成的生产解决方案
JETx和ACS材料处理单元提供了一个完全集成的生产解决方案，用于直接图案化材料，如光刻胶、相变抗蚀剂、电介质，如聚酰亚胺、SU-8和阻焊剂，还包括导电油墨和客户特定的材料。
优化的生产力
喷墨打印的优势之一是，扩大生产规模仅仅意味着更多的喷头，因此JETx可以配置多个喷头和多个墨水系统，以优化生产。
PiXDRO喷墨技术
采用PiXDRO喷墨技术的JETx建立在经过生产验证的核心喷墨部件和多年的喷墨专业知识之上，为半导体生产提供一流的解决方案。
前处理和后处理选项
在ACS和JETx中，集成了多种预处理和后处理选项，如带有条形码扫描仪的晶圆预对准器、用于靶标对准的高分辨率相机、在线UV（紫外线）和NIR（近红外）针刺/固化、热板和冷却板堆。
主要特点和选项
- 完全自动化的生产解决方案
- 绿色工艺
- 几乎零材料浪费
- 最小的地面空间
- 通过数字处理实现产品的个性化
- 用于脆弱基材的非接触沉积
- 层厚的微米级控制
- 集成预处理和后处理选项
- 补料时继续操作
- 自动过程检查