MaskTrack Smart BD

MaskTrack Smart BD 符合下一世代光罩烘烤與顯影的微影技術發展藍圖。這款全新的烘烤與顯影旗艦產品代表著廣受認可且成功的 MaskTrack Pro BD 的進化。使用最先進的方法來增強光罩效能，以滿足當今微影技術的所有需求。
MaskTrack Smart BD 是為了涵蓋現今烘烤與顯影領域所需的光罩生產的各個方面而開發的，它解決了光罩完整性對先進微影製程的有效性日益重要的問題。MaskTrack Smart BD 具備擴充能力，可將主機台與第三方協力廠商產品連結在一起，在完全受控且極為乾淨的環境中，以全面的方式進行光罩儲存、處理和加工。模組化平台可確保最高程度的彈性與客製化。MaskTrack 系列在 Bake 和 Develop 方面取得了世界級的成果，已經成為業界的首選平台。