JETx
Tintenstrahldrucklösung für die Großserienproduktion
Der JETx-Tintenstrahldrucker für die Großserienproduktion ist die fortschrittlichste Lösung von SUSS für den Druck von Funktionsmaterialien und ist speziell ausgelegt für die Halbleiterindustrie und angrenzende Märkte wie Leistungselektronik, Sensoren, MEMS, Displays und Biomedizin.
Der JETx bietet in Kombination mit einer Materialtransporteinheit wie dem ACS200 Gen3 TE und einem Hotplate-Stack eine komplette Produktionslösung mit niedrigen Betriebskosten und hohem Durchsatz für runde Wafer bis zu 300 mm und Panels bis zu 610 x 765 mm.
Highlights
- Grüner Prozess
- Vollständig integrierte Produktionslösung
- Hohe Zuverlässigkeit, Produktivität und niedrige Betriebskosten
- Individualisierbare Konfiguration, optimiert für Ihren Prozess
- Kompatibel mit lösungsmittelbasierten, wässrigen, Hotmelt- und UV-härtenden Tinten
- Einfach zu bedienen und zu warten
Grüner Prozess
Als additive Technologie ist der Tintenstrahldruck im Vergleich zu den traditionellen subtraktiven Fertigungsmethoden ein umweltfreundliches Verfahren. Da nur die wirklich benötigte Menge an Material gedruckt wird, und zwar genau dort, wo es erforderlich ist, wird verschwendetes Material erheblich reduziert und die Schritte zur Entfernung von überschüssigem Material entfallen.
Vollständig integrierte Produktionslösung
Die Kombination aus JETx und ACS-Materialtransporteinheit bietet eine vollständig integrierte Produktionslösung für die direkte Strukturierung von Materialien wie Fotolack, Phasenwechselresist, Dielektrika wie Polyimid, SU-8 und Lötmaske, aber auch leitfähiger Tinten und kundenspezifischer Materialien.
Optimierte Produktivität
Einer der Vorteile des Tintenstrahldrucks ist, dass zur Steigerung der Produktivität lediglich mehr Druckköpfe erforderlich sind. Daher kann der JETx mit mehreren Druckköpfen und mehreren Tintensystemen konfiguriert werden, um die Produktivität zu optimieren.
PiXDRO-Inkjet-Technologie
Der JETx mit PiXDRO-Inkjet-Technologie baut auf produktionserprobten Tintenstrahldruck-Kernkomponenten und langjährigem Tintenstrahldruck-Know-how auf, um die besten Lösungen für die Halbleiterproduktion anzubieten.
Vor- und Nachbearbeitungsoptionen
In ACS und JETx sind mehrere Vor- und Nachbearbeitungsoptionen integriert, zum Beispiel ein Wafer-Vorausrichter mit Barcode-Scanner, eine hochauflösende Kamera für die Referenzausrichtung, Inline-UV(Ultraviolett)- und NIR(Nahinfrarot)-Pinning/-Härtung, Hotplate- und Coolplate-Stack.
Hauptfunktionen und Optionen
- Vollständig automatisierte Produktionslösung
- Grüner Prozess
- Praktisch kein Materialabfall
- Minimaler Platzbedarf
- Individualisierung von Produkten durch digitale Verarbeitung
- Berührungslose Beschichtung für empfindliche Substrate
- Mikrometergenaue Kontrolle der Schichtdicke
- Integrierte Vor- und Nachbearbeitungsoptionen