Maximale Zuverlässigkeit bei jeder Verbindung

Permanente Wafer-Bonding-Systeme

Die permanenten Bondsysteme von SUSS bieten die Präzision und Zuverlässigkeit, die für das moderne Packaging erforderlich sind. Hochentwickelte Technologien für eine präzise Bond-Ausrichtung und skalierbare Plattformen für unterschiedlichste Wafer und Materialien gewährleisten Bauteilqualität, maximalen Ertrag und zukunftsfähiges Bonden von der Forschung & Entwicklung bis zur Hochvolumenproduktion.

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Zuverlässiges Bonden bei allen Anwendungen

Dauerhafte, void-freie Waferbonds mit präziser Kontrolle: SUSS Systeme liefern hohe Post-Bond-Genauigkeit, Qualität und hohe Ausbeute für jeden Prozess.

Top-Produkte

Entdecken Sie unsere Toplösungen für permanentes Bonden

XBC300 Gen2 D2W/W2W

Hybride Bonding-Plattform, die W2W, kollektives D2W und sequentielles D2W-Bonding in einem einzigen System integriert.
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vollautomatisch

XBC300 Gen2 D2W

Der XBC300 Gen2 D2W ist Ihre vollautomatische Lösung für das sequentielle Die-to-Wafer-Hybridbonden auf 200mm- und 300mm-Substraten.
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XBC300 Gen2 D2W hybrid bonding platform by SUSS
vollautomatisch

XBS300 W2W

Die XBS300 W2W Hybrid-Bonding-Plattform ist für das automatisierte Hybrid-Fusionsbonden von ausgerichteten 200mm- und 300mm-Wafern konzipiert.
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vollautomatisch

XBS200

Universelle, automatisierte Wafer-Bonding-Plattform für die Großserienproduktion, die das ausgerichtete Bonden von Wafern bis zu einer Größe von 200 mm ermöglicht.
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XBS200 wafer bonder platform by SUSS
vollautomatisch

XB8

Universeller, halbautomatischer High-Force-Wafer-Bonder, der Substrate mit einer Wafergröße von bis zu 200 mm unterstützt.
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halbautomatisch

SB8 Gen2

Universelles, halbautomatisches Wafer-Bonding-System, das Wafer bis zu 200 mm bearbeitet.
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halbautomatisch

Wesentliche Vorteile

Strenge Prozesskontrolle

Branchenführende Technologien für Submikron-Overlay-Präzision und void-freie Ergebnisse sichern höchste Qualität und langlebiges Packaging.

Unerreichte Flexibilität

Eine flexible und modulare Konfiguration unterstützt eine breite Palette von Wafern, Stack-Ups und fortschrittlichen Packaging-Materialien, die sich ideal für Hybrid-, MEMS-, LED- und zukunftsweisende Gerätearchitekturen mit hoher Dichte eignen.

Bewährte Serienfertigung

Speziell entwickelt für die Anforderungen der Hochdurchsatz- und Hochrisikoproduktion in der Halbleiterfertigung gewährleisten die permanenten Bonding-Lösungen von SUSS Zuverlässigkeit, Reproduzierbarkeit und Bauteilintegrität in jedem Maßstab.

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Intelligente Metrologie für optimale Qualität

Die integrierte Messtechnik in den SUSS Permanent-Bonding-Systemen gewährleistet die Ausrichtung der Schichten im Submikrometerbereich und eine langfristige Stabilität. Durch die Erfassung der Topologie, die Überprüfung der Überlagerung und die Überwachung von Prozessverschiebungen erkennt das System Abweichungen frühzeitig. Dies sichert die Qualität des Bonds in Hybrid- und Direktprozessen.

Verbesserte Overlay-Genauigkeit

Topologie-Scans, intelligente Fiducial-Platzierung und enge Ausrichtungsvorgaben garantieren höchste Genauigkeit.
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Integrierte Qualitätskontrolle

Durch die Inline-Überwachung werden Verschiebungen frühzeitig erkannt, was einen stabilen, wiederholbaren Bond und eine höhere Ausbeute gewährleistet.
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Downloads

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