Fotomasken Systeme

Jede Einführung eines neuen Technologieknotens zieht innovative Weiterentwicklungen in der Fotomaskenbearbeitung nach sich. Um die Anforderungen seiner Kunden vollständig zu erfassen und ein hohes Maß an Maskenlebensdauer zu gewährleisten, arbeitet SUSS eng mit seinen Kunden, Technologie- und OEM-Partnern zusammen.

Mit seiner etablierten Produktfamilie von Anlagen für die Fotomaskenbearbeitung deckt SUSS die ganze Bandbreite an Lithografie-Technologieknoten ab, einschließlich der nächsten Generation für < 10 nm HP. Die hochwertigen Lösungen umfassen Stripping, Reinigung, Post-Exposure-Baking und Entwicklungsprozesse.