HMx Series
HMxSquare
Mit seinen Entwicklungs-, Ätz- und Reinigungsfunktionalitäten bietet der HMxSquare hochwertige Substratbearbeitung für Anwendungen im Bereich Fotomasken wie auch in den Bereichen Optoelektronik, OELD und im speziellen Halbleiter-Backend (MEMS).
Der HMxSquare ermöglicht die Bearbeitung von Kleinserien oder Pilotproduktionen von Spezialsubstraten. Die Anlage wird manuell beladen. Alle weiteren Prozessschritte erfolgen automatisiert. So kombiniert der HMxSquare die bewährte Stabilität und Verlässlichkeit der originären HMx-Serie mit dem heutigen Bedarf an elektronischen Kontrollfunktionen, Implementierungsmöglichkeiten von neuen Reinigungsmethoden und umwelt- sowie arbeitsschutztechnischen Auflagen.
Highlights
- Methoden für den 3 µm – 250 nm-Bereich
- Hochmoderne Elektronik und Software
- Vielzahl an verschiedenen Chucks für schadenfreies Handling
- Sichere Aufbewahrung und Zuführung der Chemikalien
- Stellfläche von 960 x 1120 mm für das Sockelgehäuse und 300 x 1070 mm für die Medienaufbewahrung
- Bestes Reinigungsergebnis im ersten Durchgang
- Minimaler Platzbedarf im Reinraum
