MaskTrack Smart BD

MaskTrack Smart BD erfüllt die Anforderungen der Lithografie-Roadmap der nächsten Generation für die Ausheiz- und Entwicklungsprozesse von Fotomasken. Das neue Bake and Develop Flaggschiff stellt eine Weiterentwicklung des weithin anerkannten und erfolgreichen MaskTrack Pro BD dar. Masktrack Smart BD wurde so konstruiert, dass alle Anforderungen der heutigen Lithografie erfüllt und modernste Methoden zur Verbesserung der Maskenleistung einsetzt werden.
Das System wurde konzipiert, um alle Aspekte der Maskenproduktion abzudecken, die im heutigen Bake-and-Develop-Sektor benötigt werden, und trägt der wachsenden Bedeutung der Maskenintegrität für die Effektivität moderner lithografischer Prozesse Rechnung. Es ist erweiterbar und ermöglicht die nahtlose Zusammenarbeit mit Produkten von Drittanbietern, wodurch ein umfassender Ansatz für die Lagerung, Handhabung und Verarbeitung von Masken in einer vollständig kontrollierten und extrem sauberen Umgebung ermöglicht wird. Die modulare Plattform gewährleistet ein Höchstmaß an Flexibilität und Anpassungsfähigkeit. Mit erstklassigen Ergebnissen in den Bereichen Bake und Develop hat sich die MaskTrack-Serie als die Plattform der Wahl in der Branche etabliert.