Projektions-Scanner

SUSSs Mask-Aligner-Portfolio, bekannt für seine exakte Ausrichtung und seine hochpräzisen Belichtungsoptiken, wird ergänzt durch eine einzigartige Lösung in der Projektionslithografie: Die Projektionsscanner-Plattform DSC verbindet alle Vorteile der Vollfeldlithografie mit der Abbildungsleistung der Projektionslithografie und bietet somit eine sehr kosteneffiziente Alternative zu Projektionssteppern. Ausgestattet mit einer Vollfeldmaske und einer Breitband-Projektionsoptik belichten die Anlagen das Substrat in einem einzigen kontinuierlichen Scan-Modus.

Die Plattform eignet sich für Anwendungen im Advanced Packaging, hierbei besonders für Wafer-Level-Chip-Scale-Packaging und Flip-Chip-Packaging sowie für 3D-Integration, MEMS und Displays.