AD12 Entwickler
Flexible Lösung für wasserbasierte Entwicklung und Reinigung
Das manuelle Nassprozesssystem AD12 von SUSS bietet ausgezeichnete Reinigungs- und Entwicklungsfunktionen für die Anwendung von wasserbasierten Medien. Die Einzelwafer-Verarbeitungsplattform arbeitet mit Stücken, Wafergrößen von bis zu 300 mm, quadratischen Substraten von bis zu 230 x 230 mm und Tape-Frames für Wafer von bis zu 300 mm. Das Gerät ist in der Lage, mit verschiedenen Medien und Prozessen umzugehen. Das gewährleistet die nötige Flexibilität für den Wechsel zwischen Anwendungen. Damit ist das Gerät die erste Wahl für die Forschung und die Kleinserienproduktion.
Highlights
- Speziell entwickelt für wasserbasierte Prozesse
- Ausgezeichnete Prozessvielfalt durch eine breiten Palette an Dispenstechnologien
- Hohe Sicherheitsstandards
Herausragende Flexibilität
Durch den Einsatz optimierter Chucks zeigt die AD12 ihre Vielseitigkeit bei der Verarbeitung vieler verschiedener Arten von Substraten. Sogar zerbrechliche Strukturen (bspw. InP, GaAs) können sicher verarbeitet werden. Durch spezielle Tooling-Optionen und eine umfassende Auswahl an einfach anzupassenden Prozessparametern eignet sich das System AD12 für viele Prozessanwendungen, einschließlich Anwendungen mit wasserbasierten Medien. Parameter wie Schrittzeit, Spingeschwindigkeit, Beschleunigung und Verzögerung, Position des Dosierarms und Schwenkbewegung können programmiert werden. Das gewährleistet einen optimierten Prozessablauf, der wiederum zu reproduzierbaren und stabilen Prozessergebnissen führt. Durch die Ausstattung mit den hochentwickelten Dispenstechnologien von SUSS unterstützt die AD12 wirksam die Entwicklung und Reinigung.
Hochentwickelte Dispenstechnologien
Die AD12 bietet eine breite Palette an Dispenstechnologien für verschiedene Prozessanforderungen. Eine Vielzahl an Prozessen kann durchgeführt werden: von einer einfachen Puddle- oder Spray-Entwicklung hin zu einem Lift-off, der neben dem Puddle-Dispens für das Einwirken und abschließende Spülen auch Hochdruck für den Lift-off von Lack und Metall erfordert. Alle zuvor genannten Dispenstechnologien können am Dosierarm der AD12 konfiguriert werden.
Intelligentes lösemittelbasiertes Mediensystem
Die AD12 ist für die besonderen Anforderungen im Umgang mit wasserbasierten Medien ausgelegt. Alle Teile, die mit Prozesschemikalien in Berührung kommen, sind aus unempfindlichen Werkstoffen gefertigt. Der Ablauf kann an die Gebäudeentwässerung oder an Entsorgungsbehälter angeschlossen werden.
Die Medien werden in einem Medienspeicher mit Ausstromanbindung sicher gelagert und durch einen Leckagedetektor gesichert. Regelsysteme für Durchfluss und Druck regeln das Medium. Optional kann auch die Medientemperatur geregelt werden, um optimale Prozessergebnisse zu gewährleisten. Zur Verringerung des Gesamtmedienverbrauchs kann ein Rücklaufsystem installiert werden.
Einfacher und sicherer Betrieb
Die AD12 ist einfach zu bedienen und zu warten. Prozessparameter und Mediendaten können auf Knopfdruck abgerufen werden. Programmierbare Rezepte beschleunigen den Arbeitsablauf und unterstützen die Reproduzierbarkeit. Für den komfortablen Betrieb und die unkomplizierte Wartung des Geräts sind alle Teile leicht zugänglich. Darüber hinaus wurde bei der Entwicklung des Gerätes das Hauptaugenmerk auf die Sicherheit des Bedieners gelegt. Eine dicht abgeschlossene Prozesskammer mit einer automatischen Sicherheitsglastür gewährleistet eine abgeschlossene Prozessumgebung und erleichtert die Überwachung des Prozesses. Verriegelungssensoren garantieren den sicheren Betrieb.