MaskTrack Smart BD

MaskTrack Smart BDは、フォトマスクのベークと現像のための次世代リソグラフィロードマップの要件を満たします。この新しいベーク＆現像フラッグシップは、広く認知され成功を収めたMaskTrack Pro BDの進化版です。マスク性能を向上させる最先端のメソッドを使用し、今日のリソグラフィのすべての要件を満たすように構築されています。
MaskTrack Smart BD は、今日の ベーク＆現像セクターで必要とされるマスク製造のあらゆる側面をカバーするように開発され、高度なリソグラフィプロセスの有効性に対するマスクインテグリティの重要性の高まりに対応しています。拡張性があり、サードパーティ製品とのツールのクラスタリングが可能で、完全に制御された非常にクリーンな環境でのマスクの保管、取り扱い、処理への包括的なアプローチを促進します。モジュラープラットフォームは、最高の柔軟性とカスタマイズ性を保証します。MaskTrackシリーズは、ベークと現像において世界トップクラスの実績を誇り、業界で選ばれるプラットフォームとしての地位を確立しています。