ACS200 Gen3 TEコーター＆デベロッパー
スループットを最大化する全自動プラットフォーム
SUSS ACS200 Gen3 TEプラットフォームは、非常に成功し、よく知られているACS200 Gen3プラットフォームを新たなレベルに引き上げました。スループットが向上し、操作とメンテナンスがより快適になりました。SUSS ACS200 Gen3 TEは、モジュールと技術の比類ない構成の柔軟性を提供し、先端パッケージング、MEMS、LEDなどの市場の要求をカバーし、研究開発から量産まで対応します。
ハイライト
- 最大6台のスピナーモジュール
- インモーションセンタリング（IMOC）によるウェーハハンドリングの向上
- 比類ない構成の柔軟性
- インクジェットを自動機化
- 高い操作性
- 標準製造インターフェース（SMIF）ロードポート
ベースフレームが再設計され、最大6台のスピナーモジュールの構成が可能となり、これらのモジュールの上部にプレートスタックを設置することができます。さらに、ウェーハ搬送中にその場でセンタリングを行うインモーションセンタリング（IMOC）機能の導入により、全体的なスループットがさらに向上しました。
プラットフォームは最新のESD規格に対応し、オペレーターや技術者により高い快適性を提供します。セカンドスクリーンは個々のニーズに合わせて設定可能です。カメラやツール／モジュールのステータスを表示したり、計測データを処理したりできます。周辺機器も大幅に改良され、新たに導入されたFlexi Media Cabinetは、整然さと高い標準化を提供します。
このプラットフォームは、PiXDROテクノロジーを搭載したSUSS JETxインクジェットモジュールが完全に統合されており、次世代の材料成膜をサポートするとともに、他のモジュールの追加も可能です。標準製造インターフェース（SMIF）ロードポートが導入されました。さらに、フローコントローラーシステムは、溶剤や現像液の供給に優れたディスペンス精度を提供します。
ACS200 Gen3 TEプラットフォームは、最先端のオープンボウルコーティングとSUSS独自のGYRSET®クローズドカバーコーティングテクノロジーを引き続き提供します。好評のボウルデザインは変わらず、旧プラットフォームからの容易なプロセス移行を実現します。
