スピンコーター、スプレーコーター、デベロッパー

コーティングと現像の包括的なソリューションでニーズにお応えします。

SUSSのスピンコーターとスプレーコーターは、優れた性能、使いやすさ、柔軟性、そして卓越したコーティング技術の代名詞となっています。経済的な少量生産用ラボ装置から300mmまでのハイエンド生産用装置まで、コンパクトで使いやすいレジスト塗布装置のラインナップを取り揃えており、1μm以下から500μm超までのレジスト層の形成を可能にしています。