フォトマスク装置

最高レベルのマスク完全性

新しい技術ノードが導入されるたびに、フォトマスク処理におけるイノベーション技術の開発が必要になります。SUSSは、顧客、技術パートナー、OEMと緊密に協力して、マスクショップやウェハー工場における顧客の要求条件を完全に理解し、マスクの最高レベルの完全性を保証するソリューションを提供しています。

SUSSの確立されたフォトマスク処理装置シリーズは、剥離および洗浄から露光後のベークおよび現像プロセスまで、1xハーフピッチ範囲の次世代リソグラフィを含む、あらゆる技術ノードをカバーしています。

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