HMxシリーズ

HMxSquare は、その現像機能性、エッチング機能性、洗浄機能性において、フォトマスク分野や、オプトエレクトロニクス、OELD、特殊な半導体後工程（MEMS）分野における用途に、高品質の基板処理を提供しています。

HMxSquare は、手動操作により、少量生産または特殊な基板のパイロット生産も可能です。装置は、独自の HMx シリーズの実証済みの安定性と信頼性により、電子制御機能、新しい洗浄方法に可能性、環境保護並びに労働安全技術にマッチします