ACS300 Gen3コーターおよびデベロッパー
高度なパッケージングアプリケーションに対応する強力なソリューション
ACS300 Gen3のモジュラーシステムは、特に要求の厳しい大量生産環境向けに設計されています。ACS300Gen3は、大量生産に対応するために設計されたモジュールシステムで、コーティング、現像、ベーキングの各機能を備え、様々なプロセスに容易に適用することができます。最大限のプロセス制御により、幅広い用途に効果的に対応します。また、8つのスピナーモジュールを搭載したシステムでは、市場最小の設置面積を実現し、所有コストに貢献します。このツールは、ウェーハレベルチップスケールパッケージ、ファンアウトウェーハレベルパッケージ、銅柱フリップチップパッケージ、3Dパッケージなど、あらゆる高度なパッケージアプリケーションに欠かせない存在となっています。
ハイライト
- 小さな設置面積
- 効率的な化学薬品処理
- フレキシブルなプロセス構成
- 高スループット能力
- 安定したプロセス結果
1台のツールですべての先進的パッケージングに対応可能
ACS300 Gen3は、フォトレジスト、ポリイミド、PBO塗布などの複数のプロセス技術を1つのシステムで提供することにより、高い使用効率を実現します。また、最適なプロセス柔軟性のために、モジュールごとに最大5つのレジストまたは4つの現像剤の機能も提供します。さらに、ユニバーサルホットプレート設計により、異なるレジストまたはPIタイプ用の特定のホットプレートが不要になります。ACS300 Gen3では、機械的な切り替えなしで200 mmと300 mmのウェハーを同時に処理できます。
魅力的な所有コスト
ACS300 Gen3はモジュールを効率的に積み重ねることができるため、コストのかかるクリーンルームのスペースを節約できます。3レベルのモジュラーシステムでは、最大12個のモジュールを重ねて配置でき、装置の複数の化学薬品節約機能により、さらなる節約が可能です。SUSS独自のGYRSET技術、斬新なディスペンス技術、または化学薬品の再循環システムのいずれであっても、このツールは化学薬品を経済的に使用し、最も厳格な持続可能性基準に沿って機能します。
優れたスループット
オプションの2番目のロボットシステムを使用すると、ACS300 Gen3は3ステップのプロセスで最大240 wphのスループット率に達します。高度なプロセス制御システムによって処理時間が最適化されます。スケジューリングアルゴリズムを選択的に切り替えて、ボトルネックステップのタイムスロットを完全に利用できるようにします。さらに、現像薬品の高温での使用やフローモードなどの機能により、プロセス時間の短縮が可能です。
一貫したプロセス監視による高収率化
ACS300 Gen3を際立たせているのは、高度なプロセス制御技術です。温度、流量、圧力、体積、パージ率など、関連するすべてのパラメーターのプロセスデータを連続的に記録することができます。データロギングにより、正確に調整されたプロセスパラメーター、再現可能な結果、潜在的な弱点の迅速な識別が可能になります。これによりプロセスの安定性と再現性が高められ、歩留まりが大幅に向上します。
