SUSS MicroTec Group
ズース マイクロテック グループは、微細構造を使用した製品向けの製造装置およびプロセス ソリューションの分野で70年を超えるエンジニアリングの歴史を誇る世界有数のサプライヤーです。
ドイツのミュンヘン近郊ガンヒングに本社を置くズース マイクロテックは、アジア、ヨーロッパ、および北米に製造拠点と販売オフィスを展開する世界的な企業グループです。
当社が主力事業として据えているのは、リソグラフィ ソリューションとウェーハ ボンダです。当社のリソグラフィ事業部では、マスク アライナ、スピン方式およびスプレー方式のレジスト コータに焦点を当てた非常に高精度のフォトリソグラフィ ツールを生産しています。ボンダ事業部は、先端パッケージング市場用の量産向けウェーハ ボンダの開発を専門とする一方、手動装置も提供しています。
フォトマスク装置事業部では、フォトマスクとインプリント マスク処理用の装置ソリューションのハイエンドな装置群、およびそれらを補完するナノインプリント リソグラフィ用のの特殊ソリューションをお届けしています。