AS8、AS12コーター

高トポグラフィー用マニュアルスプレーコーター

SUSS MicroTec AS8/AS12コーターは、研究開発および少量生産に最適な装置です。200 mm径または300 mm径までの基板とエッジ長6インチまでの正方形基板を処理できます。システムには、最大2つの外付けスプレーディスペンスシステムを装備できます。洗練されたレジスト供給システムは、比類のないプロセス安定性と再現性を提供します。すべてのスプレーおよび洗浄パラメーターは、レシピでプログラムできます。

SUSS MicroTecコーターの手動製品ラインは、自動化されたプラットフォームへの簡単なレシピ転送を行うことができます。